安马电子设备实业有限公司立足长三角经济带,是一家专注于半导体、显示器、印制电路板等领域的综合性企业。公司整合研发、生产、销售、进出口贸易等全链条资源,为客户提供一站式解决方案,凭借完善的组织架构、专业的技术团队与严苛的品控体系,在行业内树立了良好口碑。公司拥有多项实用新型专利,配备三坐标测量仪、二次元检测仪等精密设备,检测精度高达 0.001mm,以专业实力践行 “成为行业领先供应商” 的企业愿景。

在半导体制造设备体系中,LOADPORT 设备作为晶圆转运的关键枢纽,承担着连接存储载具与加工设备的重要使命,而安马电子的 LPW-12/08 型号 LOADPORT 设备,凭借卓越性能成为行业优选。该设备适配 12 英寸、8 英寸 FOUP/FOSB、Wafer Cassette、Frame Cassette 等多种载具,兼容不同尺寸晶圆,满足半导体制造的多样化需求。采用前开盖设计,支持人工、OHT、AGV 三种上料方式,灵活适配不同生产场景。

设备在安全性、精准度与稳定性上实现三重突破。安全检测功能全面升级,具备晶圆凸出检测、载具在位就位检测、载具类型自动识别及晶圆 mapping 功能,全方位规避转运风险。洁净度达到 ISO CLASS I 标准,有效防止粉尘污染,保障晶圆加工环境洁净。通讯方面支持 TCP/IP、RS485 协议,可选配 RFID、E84 功能,以及 AMHS 通讯接口、氮气置换功能,适配智能化生产车间的连接需求。在硬件配置上,设备电源采用 AC220V,气源正压 0.4-0.5Mpa,负压<-80Kpa,确保运行稳定。设备外形尺寸为 W465×D565×H1365mm,操作面离地距离 900±15mm,前后行程 70mm,重量 65KG,结构设计紧凑合理,节省车间空间。

除核心性能外,该设备还具备极强的兼容性与拓展性,通过简单更换转接板,即可匹配不同尺寸晶圆和载具,满足多规格生产需求。整机符合 SEMI E26 和 SEMI E47.1 标准,严格遵循半导体行业规范,为晶圆转运提供安全可靠的保障。

科技创新永无止境,安马电子将持续聚焦半导体设备领域的技术升级。未来,我们将不断优化 LOADPORT 设备性能,拓展产品适配范围,推出更多新型号、多功能的转运设备。公司会定期更新产品系列,带来更智能、更安全的半导体制造解决方案,期待与您携手共创行业新价值!